三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)通過探測(cè)系統(tǒng)（如接觸式測(cè)頭或非接觸式測(cè)頭）獲取工件表面上點(diǎn)的坐標(biāo)位置。它基于笛卡爾坐標(biāo)系，有X、Y、Z三個(gè)互相垂直的坐標(biāo)軸。當(dāng)測(cè)頭接觸到工件表面的測(cè)量點(diǎn)時(shí)，測(cè)量機(jī)的控制系統(tǒng)會(huì)記錄下此時(shí)測(cè)頭在三個(gè)坐標(biāo)軸方向上的位置信息，這些坐標(biāo)值就代表了測(cè)量點(diǎn)在三維空間中的位置。簡(jiǎn)單來說，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)本質(zhì)就是快速準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)尺寸數(shù)據(jù)，為操作者提供關(guān)于生產(chǎn)過程狀況的有用信息。

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一般由以下幾個(gè)部分組成：1、主機(jī)機(jī)械系統(tǒng)（X、Y、Z三軸或其它）；2、 測(cè)頭系統(tǒng)；3、 電氣控制硬件系統(tǒng)；4、 數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)（測(cè)量軟件）

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一般在機(jī)械、電子、儀表、塑膠等行業(yè)廣泛使用。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是測(cè)量和獲得尺寸數(shù)據(jù)的快讀有效的方法之一，因?yàn)樗梢源娑喾N表面測(cè)量工具及昂貴的組合量規(guī)，并把復(fù)雜的測(cè)量任務(wù)所需時(shí)間從小時(shí)減到分鐘，這是其它儀器而達(dá)不到的效果。