型號

SURFCOM 480A

測量范圍

X軸（橫向）

100mm

Y軸（縱向）

800mm（測量范圍/分辯率：800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm）

直線度精度

（0.05+1.5L/1000） mm =測量長度（mm）

分析項目

使用規(guī)格

JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO規(guī)格

參數(shù)

Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.

TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc

AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR

評價曲線

剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線（Motif）、波紋度中心曲線（Motif）、包絡波紋度曲線

表面特性圖表

負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線

傾斜補償方式

直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵補償、（直線、R面、兩端補償可以在任意范圍內(nèi)）

倍率

縱倍率（Z軸）

50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自動

橫倍（X軸）

1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自動

濾波器的種類

標準型濾波器2RC、相位補償型濾波器2RC、相位補償型濾波器（高斯濾波器）

測量速度

0.03、0.06、0.1.5、0.30 、0.60、 1.5 、3、 6mm/s（4速）

傳感器

前端半徑2mm、材質為金剛石、測量力為0.75mN

*功能

測量AI

裝載有測量AI功能、即使初學者也可容易掌握

段差分析功能

zui適于測量半導體零部件的膜厚及面積

PC卡

輸出文本文件、將數(shù)據(jù)傳送至電腦

標準配件

標準片E-MC-S24B、記錄紙（E-CH-S21A）、觸摸筆（E-MA-S54A）操作說明書

各要素

電源

AC100~240V±10%、50/60Hz、90VA

設置尺寸

1000（W）*800（D）*750（H）mm

質量

105Kg